כיצד פועלים מיקרוסקופים אלקטרונים

אלקטרון מיקרוסקופימשתמש באותות הנוצרים על ידי אינטראקציה של אלומת אלקטרונים עם דגימה כדי לקבל מידע על מבנה, מורפולוגיה והרכב.

רובי אלקטרונים מייצרים אלקטרונים.
שתי קבוצות של מעבים ממקדות את קרן האלקטרונים אל הדגימה, שם היא ממוקדת לתוך קרן דקה.
כדי להזיז את האלקטרונים במורד העמוד, מתח מאיץ (בדרך כלל בין 100 קילו וולט -1000 קילו וולט) מופעל בין חוט הטונגסטן לאנודה.
הדגימות שייבדקו הן דקות מאוד, דקות לפחות פי 200 ממיקרוסקופ אור. חתוך קטעים דקים במיוחד של 20-100 ננומטר שהונחו על מחזיק המדגם.
קרן אלקטרונים עוברת דרך המדגם והאלקטרונים מפוזרים בהתאם לעובי או למקדם השבירה של חלקים שונים בדגימה.
אזורים צפופים בדגימה מפזרים יותר אלקטרונים ולכן נראים כהים יותר בתמונה מכיוון שפחות אלקטרונים פוגעים באזור זה של המסך. לעומת זאת, אזורים שקופים בהירים יותר.
אלומת האלקטרונים היוצאת מהדגימה מגיעה לעדשת האובייקטיבית, בעלת הספק גבוה ויוצרת תמונת ביניים מוגדלת.
לאחר מכן, העינית מייצרת תמונה סופית, מוגדלת נוספת.